Mehrkathoden

Bedienoberfläche Multikathode Stromeinstellung

Durch die Kombination von 2 oder 3 Leistungsteilen mit je 200 A, 400 A oder 600 A werden Mehrkathodenanlagen mit bis zu 4 Brennern möglich. Die Gassteuerung umfasst üblicherweise 2 oder 3 Massendurchflussregler sowie weitere manuelle Gaseinsteller. Als Option können bis zu 8 Gase über Massendurchflussregler gesteuert werden.
Durch die Kombination mit einem Pilotleistungsteil ist die Konfiguration WIG-Plasma-WIG möglich.
Die Einstellung und Speicherung aller Parameter erfolgt zentral über das Prozess-Leit-System (PLS).

 

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